双频激光干涉仪安装前需做好环境与准备工作。
1. 选择温度、湿度稳定的场地,远离热源、空调出风口及门窗缝隙,避免气流与温度波动影响部件精度。
2. 清理安装区域,保持环境洁净,减少灰尘附着光学元件,必要时使用防护装置。
3. 远离大型电机、高频设备等强电磁干扰源,防止电子信号受干扰。
4. 检查安装台面与设备基座,确保刚性充足、无明显震动,必要时加装防震装置。
5. 清点所有配件,包括激光主机、干涉镜组、反射镜、支架、传感器、线缆等,确认无缺失、无损伤。
6. 清洁光学元件表面,用专用工具轻柔操作,避免划伤或留下污渍。
双频激光干涉仪硬件安装按步骤有序进行。
1. 安装激光主机固定装置,将支架或三脚架平稳放置在指定位置,调整水平度并锁定,确保稳固无晃动。
2. 把激光主机固定在支架上,调整高度与角度,使其出光方向与被测轴方向基本一致,初步锁定位置。
3. 安装干涉镜组件,根据测量轴类型选择对应镜组,用专用连接件固定在被测设备的固定端,确保安装牢固,镜组表面垂直于预设光路方向。
4. 安装反射镜组件,将反射镜固定在被测设备的运动端,与干涉镜对应放置,保证镜面相对平行。
5. 连接环境补偿单元,将温度、气压、湿度等传感器放置在测量区域附近,通过专用线缆与激光主机连接。
6. 完成系统接线,用通讯线缆连接激光主机与控制终端,连接电源线,确保所有接口插接牢固、无松动。
双频激光干涉仪光路校准是安装核心环节,需精细操作。
1. 接通电源,启动激光主机与控制软件,等待设备预热,直至系统状态稳定、指示灯正常。
2. 初步调整激光主机位置,使激光束穿过干涉镜中心,照射到反射镜中心区域,观察出光与反射光路,确保无明显遮挡。
3. 移动反射镜至行程远端,调节激光主机的俯仰与偏摆,使反射光斑与入射光斑在接收口重合,调整至接收孔中心位置。
4. 将反射镜移至行程近端,微调反射镜的水平与垂直位置,确保光斑再次重合。
5. 重复远近端调节操作,直至反射镜在整个运动行程内,光路始终保持居中、重合,信号无明显衰减。
6. 校准光路平行度,确保激光束与被测设备运动轴平行,避免夹角偏差导致测量误差。
7. 锁定所有光学部件的固定旋钮,防止校准后移位。
https://www.ybzhan.cn/st15475/product_8986092.html
https://www.ybzhan.cn/st15475/list_423262.html


