平行光露光装置
本装置是以点光源超高压汞灯为光源的准直镜式平行光曝光装置。主要结构由光源部、吸附式曝光台部、掩模部组成，曝光方式为接触式和接近式曝光方式。为了曝光管理，还搭载了积分光量计，容易设定适当的曝光量，是带支架的紧凑设计的曝光装置。
工件尺寸：150mm x 150mm厚度约0.1~1.0 mm
光学性能：超高压汞灯1kW（风冷式），波长约300~470nm（主波长365,405,436 nm）
：紫外线照度约40mw/cm^2初始值（365nm），照度分布90%以上光线平行度：准直半角≤1.5°，偏角≤1.0°
曝光快门：气动快门打开/关闭方式
曝光量管理：基于积分光度计（管理波长365nm），具有20通道存储功能
面具（基本）：玻璃面具□8英寸厚度3.0毫米或5.0毫米（可更改）
曝光台：吸附式工作台，前后可移动，内置真空泵
上边框类型：玻璃掩模专用边框和聚酯薄膜边框可供选择
公用设施：电源3相200V 50/60Hz，断路器开关30A，10.5 KVA：气压约0.5 Mpa
：排气约8m^3/min
外形尺寸：(W)800mm x(D)1470mm x(H)1915mm
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