TESCOM代理
TESCOM减压阀基本介绍：
12系列是一款微型超高纯IGS/录像机减压调节器。12系列提供5 Ra或10 Ra微英寸抛光、打结隔膜和内部无弹簧无螺纹设计。它提供150磅/平方英寸/10.3巴的入口压力，250毫米汞柱-15、30、60、100磅/平方英寸/250毫米汞柱-1.0、2.1、4.1、6.9巴的出口压力，流速*高可达120 SLPM。非常适合在原始设备制造商工具、气体箱和低压气体柜中使用。
TESCOM减压阀特点：
1、原始设备制造商气体系统的TESCOM减压阀
2、超灵敏压力控制增强MFC性能
3、广泛应用中的性能
4、从2 SCFM流向120 SLPM
5、微元件中的下垂和可重复性
6、金属对金属隔膜对阀体密封，实现高泄漏完整性
7、10 Ra或5 Ra微英寸内表面光洁度
8、符合SEMI F19和SEMIN模块化接口规范
TESCOM减压阀基本介绍：
FR2000系列调节器极其**，设计用于低出口压力下的高流量。防扩散金属隔膜密封确保气体纯度和泄漏完整性。非常适合用于低压吹扫。
TESCOM减压阀特征：
1、插装阀设计包含一个10微米的过滤器，可保护调节器阀座，并使维修变得简单
2、可选的氯丁橡胶隔膜为压力控制提供了的灵敏度
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