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PECVD系统

发布日期：2025-09-16 08:55:02 浏览次数：3

导读

PECVD系统加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。 1、加热系统z高温度1200℃使用温度≤1100℃炉膛有效尺寸φ50/φ100mm（炉管直径可根据实际需要

PECVD系统加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。

1、加热系统

z高温度	1200℃
使用温度	≤1100℃
炉膛有效尺寸	φ50/φ100mm（炉管直径可根据实际需要定制。）
炉膛材料	氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型	K型热电偶
控温精度	±1℃
控温方式	30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7/10寸工控电脑内置PLC控制程序。
加热长度	230mm/440mm
恒温长度	100mm/200mm
加热原件	电阻丝
供电电源	单相，220V，50Hz

2、PE射频电源

功率输出范围	0W~150/500W
z大反射功率	100W
射频输出接口	50 Ω, N-type, female
功率稳定度	≤5W
谐波分量	≤-50dbc
供电电压	单相交流（187V-253V）频率50/60HZ
整机效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷却方式	强制风冷
功率输出范围	0W~150/500W
z大反射功率	100W

3、PECVD系统的三路质子流量控制系统

连接头类型	双卡套不锈钢接头
标准量程（N₂)	50sccm，100sccm、500sccm（可根据用户要求定制）
准确度	±1.5%F.S
线性	±1%F.S
重复精度	±0.2%F.S
响应时间	气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围	0.1～0.5 MPa
z大压力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
显示	4位数字显示
工作环境温度	5~45高纯气体
压力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀	Φ6
内外双抛不锈钢管	Φ6
连接头类型	双卡套不锈钢接头 https://www.chem17.com/st235110/product_36409473.html http://www.ahbeiyike.com/ParentList-684448.html

4、低真空机组

(文/小编)

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