聚焦离子束电镜测试
蔡司ZEISS 聚焦离子束电镜Crossbeam系列探索全新的 FIB 加工方法--从大尺寸到纳米精度切割：
充分利用 lon-sculptor FIB 镜筒在低电压下的出色性能来提升样品质量。降低精密样品的非晶化程度，可在减薄抛光后获得出色的样品效果，同时具有快速切换束流的优势，加速 FIB 的应用。
您也可以选择出色的大束流性能，使 FIB-SEM 3D 应用的采集速度提高一倍。图像采集的过程十分稳定确保您获得准确且高度可重复的结果。镜筒设计使其束流范围横跨五个数量级，即从1pA 到 100 nA。高达 100 nA 的束流能快速准确地移除材料，并完成切割流程同时，低束流下可获得小于3nm 的高 FIB分辨率。在2 μA 的发射电流下工作时，镓聚焦离子束源，即 LMIS(液态金属离子源)的常规使用寿命高于 3000 uAh。通过自动离子源加热功能，Crossbeam 系列产品能够完成超长持续时间的实验。
蔡司ZEISS 聚焦离子束电镜Crossbeam系列探索全新的 FIB 加工方法--从大尺寸到纳米精度切割：
充分利用 lon-sculptor FIB 镜筒在低电压下的出色性能来提升样品质量。降低精密样品的非晶化程度，可在减薄抛光后获得出色的样品效果，同时具有快速切换束流的优势，加速 FIB 的应用。
您也可以选择出色的大束流性能，使 FIB-SEM 3D 应用的采集速度提高一倍。图像采集的过程十分稳定确保您获得准确且高度可重复的结果。镜筒设计使其束流范围横跨五个数量级，即从1pA 到 100 nA。高达 100 nA 的束流能快速准确地移除材料，并完成切割流程同时，低束流下可获得小于3nm 的高 FIB分辨率。在2 μA 的发射电流下工作时，镓聚焦离子束源，即 LMIS(液态金属离子源)的常规使用寿命高于 3000 uAh。通过自动离子源加热功能，Crossbeam 系列产品能够完成超长持续时间的实验。
https://www.chem17.com/st573720/product_39224915.html
http://www.tzelec.cn/Products-39224915.html
