压电物镜扫描器
压电陶瓷管扫描器
工作方式及原理
壁厚比较薄、径向极化、外壁四个电极、内壁一体或者分区电极的压电陶瓷管,当外部施加一个正电压到某一个区域时,陶瓷管垂直方向收缩,使陶瓷管顶部产生比较大的倾斜,同时施加电压会使陶瓷轴向或径向膨胀和收缩。
安装
常见的安装配置是带有固定底座和自由端的悬臂式。 基底可以用两部分环氧树脂或高粘度氰基丙烯酸酯直接粘合到绝缘表面上。 压电管也可以通过去除少量电极而粘合到导电表面,如下面“电极”中所述。
电极
压电陶瓷管配有镍薄膜电极。 内部电极是连续的,外部电极是四分区的。 通过用稀硝酸蚀刻可以去除表面电极。 可根据要求提供定制电极配置。
在需要高磁场的应用中,镍电极可以用铜或金代替。铜是一种经济的选择,但金电有优异的耐腐蚀性和导电性。
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