4D:3D测量时序图
3D成像抓取速度可达190帧/秒(高可选1000帧/秒)
时间分辨率可达100微秒(zui快10微秒可选)
动态垂直测量范围可达200微米
探针接触式轮廓仪
Smart-surface:UVsensitivepolymer
3D形貌测量提供干涉测量级的亚纳米分辨率
任何物镜倍率下均保证亚纳米垂直分辨率
多种可选物镜,包括长工作距物镜、玻璃矫正物镜、水镜、油镜等
多环境下测量,包括真空、气氛、液体、透过光学窗口、温度湿度可控环境等
表征样品动态响应
热动力学参数响应(压强、温度等)
气氛、液体环境响应(例如沉积、腐蚀等)
机械力或电磁力响应
光辐射响应
http://www.sunano-instruments.com/Products-34025521.html
https://www.chem17.com/st111456/erlist_2286611.html