赛默飞雾化器将溶液样品送入等离子体光源，在高温下汽化,解离出离子化气体,通过铜或镍取样锥收集的离子,在低真空压力下形成分子束,再通过1-2毫米直径的截取板进入四极质谱分析器，经滤质器质量分离后，到达离子探测器，根据探测器的计数与浓度的比例关系,可测出元素的含量或同位素比值。
赛默飞雾化器按照雾化原理不同，可以分为三种：
1.超声雾化器
通过超声波声能使药液剧烈震动，形成细小气溶胶颗粒进行雾化的装置。
2.震动筛孔雾化
通过压电陶瓷片的高频振动，使药液穿过细小的筛孔而产生气雾微粒的雾化装置。
3.压缩式雾化器
利用压缩气体高速运动通过狭小开口突然减压，局部产生负压同时利用虹吸作用将药液排出，药液遭遇高压气流被冲撞裂解成药物颗粒并随气流输出的雾化装置。
赛默飞雾化器质谱仪的适用注意事项：
1.仪器每个月至少开机运行一次。现场分析前，可多做几次空白样，尽量减少管道中残留气体。
2.采集的样品不可以是强酸或强碱性物质。
3.不使用时，仪器须摆放在通风干燥场所，合上面板，连接好各部件或使用自带的保护塞封住连接头，防止灰尘和挥发性有机物进入内部。为防止储电性能下降和气瓶漏气，电池可摆放在充电器上充电，移除内部的气瓶。
4.为延长非蒸发吸气剂泵的寿命和缩短开机时间，仪器在不工作时可选择扩展待机模式。
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