磁悬浮复合分子泵
Osaka复合分子泵TG-M系列使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品。
TG-M系列磁悬浮分子泵产品型号：TG390M、TG420M、TG900M、TG1300M、TG2400M
特点
任意方位安装
轻巧设计
节能
分子泵停止与启动时间短
附带维护警报机能
低振动
无需调整
自动校准
可控制转子旋转速度
大流量排气
多种通信模式
符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
应用
半导体制造
电子排气，离子源排气
FPD制造
表面处理，表面改质
各种电子部件的制造
分析，试验装置
管球制造，光学部件制造
加速器，放射线设施，核聚变研究
热处理
研究开发
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