一、MPI8英寸高低温探针台的产品特点：
（1）适用于多种晶圆量测应用
•模块量测-DC-IV/DC-CV/Pulse-IV
•射频和毫米波-26GHz至110GHz及以上
•失效分析-探针卡/节间探测
•可靠性测试-热/冷/长时间测试
•高功率测试-至高10kV/600A
（2）MPIShielDEnvironment™屏蔽环境
•专为EMI/RFI/Light-Tight屏蔽所设计的精密量测环境
•支援飞安级低漏电值量测
•温度量测范围-60°C至300°C
（3）工效学设计及弹性选配
•便利的晶圆单片上片，搭配简单快速的晶圆预对准功能，实现自动化流程简单化
•垂直点测控制环境(VerticalControlEnvironment,VCE™)，方便安全有效地侧面观察点测区域
•内建防震系统
•完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量测操作
•安全测试管理系統(SafetyTestManagement,STM™)选配，方便在任意温度进行上片/下片，并自动进行露点控制
二、MPI8英寸高低温探针台的设备简介：
MPI的TS2000-SE是市场上shou款200mm自动化工程探测系统，集成了专为降低测试成本而设计的创新功能。这些功能集成在MPIShielDEnvironment™中，可实现超低噪声，非常精确和高度可靠的DC/CV，RF和高功率测量。
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