AMC在线监测离子迁移谱 技术具有灵敏度高(ppb范围)、响应速度快(毫秒范围)、结构紧凑、可在大气压下操作以及能分离异构体等优点。在这篇简短的报告中,我们展示了使用IMS检测HCl和氟化氢(HF)的灵敏度和快速响应。
HCl和HF是摩尔质量为36.46 g/mol(HCl)和20 g/mol(HF)的小分子。盐酸和氢氟酸是医药、高分子、石油化工等工业中的重要化合物。这两种化学物质在半导体工业中也很重要。在许多半导体应用中,需要在低ppb水平下监测HCl和HF的存在。
将60 ppb的HCl与85 ppb的HF进行比较。从右图很明显可见,这两个化合物可以很容易地被EIMS区分。IMS的分离能力可以通过降低离子门脉冲的长度来提高。然而,分离度的提高会导致灵敏度的降低。另一方面,牺牲IMS的分辨能力可以提高灵敏度。所有这些修改都可以在软件中轻松实现,用户可以方便地设置HCl和HF检测的合适参数。
产品主要特点:
采样点
1-16-30-45
分析设置
EIMS可检测的NH3、HCl、HF、VOC和其他
标准范围
0-50,0-100 ppb
采样管的长度
130米
设备条件
干燥压缩空气,110-115-230 Vac 50/60 Hz
通讯接口
以太网端口、Modbus、Profibus
安装
19" 机架安装
掺杂物
取决于检测到的气体
软件用户界面
内置控制软件
操作温度
5-45℃
尺寸
机架19"4U L 500mm
重量
取决于配置
http://www.bjdktk.com/SonList-1626874.html
https://www.hbzhan.com/st611199/erlist_1626874.html