主要应用 ：
1.表面清洁 2.表面活化 3.键合 4.去胶 5.金属还原 6.简单刻蚀 7.去除表面有机物 8.疏水实验 9.镀膜前处理等
主要特点：
1.实时显示检测样品仓内的真空度
2.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用防腐蚀
3.采用电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样 品仓内顶部悬挂
4.手动，自动两种模式任意切换
5.程序化设计，预先编辑好程序，仪器自动完成实验
6.控制系统：采用触摸屏+内置计算机控制
7.无需任何耗材，使用成本低，无需特殊进行维护，在日常使用中保持仪器清洁即可
技术规格 ：
1.舱体尺寸： 230x230x230mm,容积：12升
2.样品托盘尺寸：205*205MM
3.射频频率： 13.56MHz
4.射频功率: 300W，10到300W无极可调，精度：1瓦
5.电源： ~220V 电流： 1.2A
6.时间设定：1秒到99分59秒
7.气体稳定时间：1分钟
8. 气路设置：内置气体质量控制器(MFC)(气体流量控制 可以选择外置的浮子流量计，这样可以优惠3000元)，双气路
9.外形尺寸: 约550mmX550mmX600(高)mm
真空泵:抽气速率：8立方米/小时(2.2升/秒)极限真空：0.05Pa功率：400瓦
基本配置：主机 + 真空软管+ 样品托盘+ 说明书+ 电源线+ 真空系统 + 油雾器
更多详情咨询：
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