技术参数：
仪器测量精度：（3+L/200）μm
X，Y坐标解析度：1μm
数据处理系统：多功能数据处理系统，全中文显示可做多点采样，坐标旋转，点、线、距离，角度检测RS-232数据输出，可直接导入CAD。
型号
XJ3020
实际测量尺寸
300*200*180(mm)
测量精度
（3+L/200）μm
外形尺寸（mm）
480*680*900
整机重量
240kg
机械本体
底座，立柱：花岗岩精度00级，平面度3μm,物理稳定
导轨：FY-V型高平衡滚子交叉导轨
光栅尺：精密闭合式光栅尺,分辨率1微米
Z轴驱动方式：手动对焦
光学系统
CCD
日本索尼芯片高解析数字相机
镜头
可连续变倍高清镜头，光学放大倍率0.7×-4.5×
表面光
美国进口灯珠LED环形冷光源，光源稳定，寿命高
轮廓光
美国进口灯珠LED圆形冷光源，光源稳定，寿命高
软件系统
多语言智能自动测量系统
0.1微米分辨率三轴解析系统
高清晰SDK2000视频采集系统
附件
保养手册
出厂检验报告
1微米分辨率校准片
各适用连接线
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