质量流量控制器可以用于控制各种清洁干燥气体，包括腐蚀性气体和特别气体，但对于使用腐蚀性气气体和特别气体，需要恰当选择型号和密封材料，以免因为选型或选择密封材料错误造成损失。通常质量流量控制器接触工作气体的材质为316L不锈钢、密封材质分为金属焊接，聚四氟乙烯和普通氟橡胶。
气体质量流量控制器和流量计主要应用于真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER 磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
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