热式质量流量控制器响应较慢，被测量气体组分变化较大的场所,因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差。对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量。对于热分布式流量计，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，要注意定期清洗。
热式质量流量控制器可测量低流速(气体0. 02^ ~2m/s)微小流量；浸入式流量计可测量低~中偏高流速(气体2^ 60m/s)，插入式流量计适合于大管径。其无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小;带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。热式质量流量控制器使用性能相对可靠。
与推导式质量流量仪表相比，不需温度.传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。热分布式仪表用于H2、N2、02、CO、N0等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体主要标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右;用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可;用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。
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